[发明专利]固态加热器以及制造方法在审
| 申请号： | 202080082445.2 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114788405A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 大卫·莫雷尔;孙大伟 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;H05B1/02;C23C16/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;刘芳 |
| 地址： | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种固态加热器及制造所述加热器的方法。所述加热器包括一体式组件，所述一体式组件包括为石墨的部分及为碳化硅的其他部分。电流在两个或更多个端子之间穿过一体式结构的石墨部分进行传导。碳化硅并不传导电，但在整个一体式组件上传导热量是有效的。在某些实施例中，使用化学气相转换(CVC)生成固态加热器。如果需要则可对一体式组件施加涂层，以保护一体式组件免受恶劣环境影响。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 加热器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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