[发明专利]阴极电弧源

摘要

本发明涉及阴极电弧蒸发设备，其包含：‑靶(3)，其具有包含活性表面(3’’)的靶表面(3’)，在阴极电弧方法中材料能够从其蒸发；‑围绕所述靶表面(3’)的外边界的限制部(4)；‑具有电子接受表面(2’，2’’，2’’’)的阳极(2)，所述阳极(2)在靶平面和所述活性表面前方的轴向距离中的至少一个中包括所述靶(3)和所述限制部(4)中的至少一个；‑磁性引导系统，其适于在所述靶表面处提供基本上平行于所述靶表面的至少外部区域的磁场，使得磁场线平行于所述靶表面或以锐角α向所述靶表面倾斜，在那里在表面(3’)区域中限定活性表面(3’’)，其中磁场线以锐角α≤45°进入所述靶表面；‑中心轴Z或中心平面Z’；其中所述限制部(4)和所述阳极(2)两者被制成闭合的几何形状，并且两者相对于彼此和所述靶电绝缘，在那里所述电子接受表面(2’，2’’,2’’’)距所述活性表面(3’’)的最小距离由所述靶表面(3’)的外边界到所述电子接受表面的内边界的径向距离Δr14中的至少一个限定，由此所述靶表面(3’)的外边界具有距所述靶的中间的径向距离r1，并且所述电子接受表面的内边界具有距所述靶的中间的径向距离r4，以及从所述靶表面(3’)到所述限制部的上边界的轴向距离h1或从所述靶表面(3’)到所述电子接受表面(2’，2’’，2’’’)的下边界的轴向距离h2。