[发明专利]用于确定容器中的燃料的量的设备在审
| 申请号： | 202080058300.9 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN114270268A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | G·梅利苏尔戈斯;H·P·A·德赫拉夫;A·P·瑞吉普玛;T·J·斯豪滕 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种被配置成确定容器中所收集的燃料的量的设备，所述燃料用于在EUV辐射源中产生EUV辐射束。所述设备包括测力装置，所述测力装置被配置成测量与所述容器相关联、用于确定所述容器中所收集的所述燃料的质量的力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 容器 中的 燃料 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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