[发明专利]用于确定容器中的燃料的量的设备

说明书

一种被配置成确定容器中所收集的燃料的量的设备，所述燃料用于在EUV辐射源中产生EUV辐射束。所述设备包括测力装置，所述测力装置被配置成测量与所述容器相关联、用于确定所述容器中所收集的所述燃料的质量的力。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年8月23日递交的欧洲申请19193373.8的优先权，所述欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种用于确定容器中的燃料的量的设备。具体地，本发明涉及一种用于确定容器中燃料的量的设备，所述燃料用于在EUV辐射源中产生EUV辐射束。

背景技术

光刻设备是构造成将期望的图案施加至衬底上的机器。光刻设备可以用于例如集成电路(IC)制造中。光刻设备可以例如将图案形成装置(例如掩模)处的图案投影至设置于衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。

为了将图案投影至衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。这种辐射的波长确定可以形成在衬底上的特征的最小大小。相较于使用例如具有193nm的波长的辐射的光刻设备，使用具有在4nm至20nm范围内(例如6.7nm或13.5nm)的波长的极紫外(EUV)辐射的光刻设备可以用于在衬底上形成较小特征。

诸如锡(Sn)之类的燃料可以用于产生EUV辐射，且所述燃料可以在容器或桶中被用于产生所述EUV辐射之后被收集。期望了解所述容器中锡的填充水平，使得例如所述容器不会溢流。温度传感器可以用于测量所述容器上的温度梯度。热梯度的变化可以被转化为填充水平的变化和所述容器中锡的相应体积。

期望提供一种用于确定容器中的燃料的量的设备和方法，其克服或减轻了与现有技术相关联的一个或更多个问题。

发明内容

根据本发明的第一方面，提供了一种被配置成确定容器中所收集的燃料的量的设备，所述燃料用于在EUV辐射源中产生EUV辐射束，其中所述设备包括测力装置，并且其中所述测力装置被配置成测量与所述容器相关联的、用于确定所述容器中所收集的所述燃料的质量的力。

这可能具有提供在容器中所收集的所述燃料的所述质量的准确度方面的改进的优点。准确度的提高可能会导致用于所述燃料的所述容器的可用容量的增加。另一个优点可能是提供了所述辐射源的有效燃料排放的指示方面的准确度的提高。

所述设备还可以被配置成基于所测量的力来确定所述容器中所收集的所述燃料的所述质量。

所述设备还可以被配置成基于所述容器中所收集的所述燃料的所述质量来确定所述容器中所收集的所述燃料的水平。这可能具有提供对于确定所述容器中所收集的所述燃料的水平的准确性方面的改善的优点。

所述设备可以包括一个测力装置。这可能具有减少部件的数量(例如减少传感器的数量)且因此降低成本的优点。

所述测力装置可以是压缩测量装置。

所述压缩测量装置可以位于所述容器下方。

所述测力装置可以是张力或扭矩测量装置。

所述测力装置可以是载荷传感器。

所述载荷传感器可以包括应变计。

所述设备可以包括至少一个铰链，其中所述至少一个铰链可以被配置为用于约束所述容器在至少一个方向上的运动、而同时使容器在至少另一方向上的运动相对地不受约束的紧固件。这可能具有有助于提供准确的力读数而不存在紧固作用对结果的实质性影响的优点。

所述设备可以包括载荷传感器铰链，其中所述载荷传感器铰链可以位于所述测力装置与所述容器之间。这可能具有在所述测力装置上均匀地分布所述容器重量的力的优势。