[发明专利]弹性波器件在审
申请号: | 202080056332.5 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN114375544A | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 门田道雄;田中秀治 | 申请(专利权)人: | 国立大学法人东北大学 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘余婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种弹性波器件,其能够在6GHz以上的超高频带中得到良好特性,并且能够确保充分的机械强度。具有压电基板(11)、以与压电基板(11)接触的方式设置的电极(12)、以及以与压电基板(11)和/或电极(12)接触的方式设置的声多层膜(13),且构成为利用体波的谐振特性中的高次模。声多层膜(13)交替地层叠有低声阻抗膜(13a)和高声阻抗膜(13b)。 | ||
搜索关键词: | 弹性 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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