[发明专利]对样本进行成像的方法在审
申请号: | 202080049904.7 | 申请日: | 2020-07-02 |
公开(公告)号: | CN114127546A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 比约恩·汉森 | 申请(专利权)人: | 伊克斯拉姆公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;H01J35/08;H01J35/14;H01J35/30;H05G1/52 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 李健 |
地址: | 瑞典*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 披露了一种用于借助于X射线检测器(D)对样本(S)进行成像的方法,该方法包括:提供(10)电子束(112),该电子束与靶标(T)相互作用以生成从靶标上的X射线光斑(122)发射的X射线辐射(120);相对于靶标来移动(20)样本;将电子束偏转(30)为使得X射线光斑在样本的移动的同时并根据样本的移动而在靶标上移动;以及检测(450)从X射线光斑发射并与样本相互作用的X射线辐射。 | ||
搜索关键词: | 样本 进行 成像 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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