[发明专利]氟气的制造方法及氟气制造装置在审
| 申请号： | 202080039805.0 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN113906164A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 三神克己;福地阳介;小林浩 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C25B1/245 | 分类号： | C25B1/245;C25B9/00;C25B15/02;C25B15/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张轶楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够抑制由雾引起的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法。通过以下方法来制造氟气，该方法包括：电解工序，在电解槽内进行电解液的电解；平均粒径测定工序，测定在电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体中包含的雾的平均粒径；及送气工序，从电解槽的内部向外部经由流路输送流体。在送气工序中，根据在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径来切换流通流体的流路，在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径为预先设定的基准值以下的情况下，向从电解槽的内部向第1外部输送流体的第1流路输送流体，在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径比预先设定的基准值大的情况下，向从电解槽的内部向第2外部输送流体的第2流路输送流体。预先设定的基准值是0.1μm以上且1.0μm以下的范围内的数值。 | ||
| 搜索关键词： | 氟气 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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