[发明专利]氟气的制造方法及氟气制造装置

说明书

提供能够抑制由雾引起的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法。通过以下方法来制造氟气，该方法包括：电解工序，在电解槽内进行电解液的电解；平均粒径测定工序，测定在电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体中包含的雾的平均粒径；及送气工序，从电解槽的内部向外部经由流路输送流体。在送气工序中，根据在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径来切换流通流体的流路，在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径为预先设定的基准值以下的情况下，向从电解槽的内部向第1外部输送流体的第1流路输送流体，在平均粒径测定工序中测定出的雾的平均粒径比预先设定的基准值大的情况下，向从电解槽的内部向第2外部输送流体的第2流路输送流体。预先设定的基准值是0.1μm以上且1.0μm以下的范围内的数值。

技术领域

本发明涉及氟气的制造方法及氟气制造装置。

背景技术

氟气能够通过对含有氟化氢和金属氟化物的电解液进行电解来合成(电解合成)。通过电解液的电解，与氟气一起也产生雾(例如电解液的雾)，因此，在从电解槽送出的氟气中伴随有雾。伴随于氟气的雾有可能成为粉体而堵塞在氟气的输送中使用的配管、阀。因此，有时不得不使制造氟气的运转中断或者停止，成为了通过电解法制造氟气时的连续运转的障碍。

为了抑制由雾导致的配管、阀的堵塞，专利文献1公开了将伴随有雾的氟气或者供该气体通过的配管加热到电解液的熔点以上的技术。另外，专利文献2公开了具有气体扩散部和填充材料容纳部的气体生成装置，所述气体扩散部是进行雾的粗处理的空间，所述填充材料容纳部容纳用于吸附雾的填充材料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利公报第5584904号

专利文献2：日本国专利公报第5919824号

发明内容

发明所要解决的课题

然而，期望有一种能够更有效地抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的技术。

本发明的课题在于，提供能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法及氟气制造装置。

用于解决课题的技术方案

为了解决所述课题，本发明的一方案如以下的[1]～[5]。

[1]一种氟气的制造方法，对含有氟化氢及金属氟化物的电解液进行电解来制造氟气，包括：

电解工序，在电解槽内进行所述电解；

平均粒径测定工序，对在所述电解液的电解时在所述电解槽的内部产生的流体中包含的雾的平均粒径进行测定；及

送气工序，从所述电解槽的内部向外部经由流路输送所述流体，

在所述送气工序中，根据在所述平均粒径测定工序中测定出的所述雾的平均粒径来切换流通所述流体的流路，在所述平均粒径测定工序中测定出的所述雾的平均粒径为预先设定的基准值以下的情况下，向第1流路输送所述流体，在所述平均粒径测定工序中测定出的所述雾的平均粒径比所述预先设定的基准值大的情况下，向第2流路输送所述流体，所述第1流路是从所述电解槽的内部向第1外部输送所述流体的流路，所述第2流路是从所述电解槽的内部向第2外部输送所述流体的流路，

所述预先设定的基准值是0.1μm以上且1.0μm以下的范围内的数值。

[2]根据[1]所述的氟气的制造方法，所述金属氟化物为选自钾、铯、铷以及锂中的至少一种金属的氟化物。

[3]根据[1]或[2]所述的氟气的制造方法，在所述电解中使用的阳极为由选自金刚石、类金刚石碳、非晶碳、石墨以及玻璃碳中的至少一种碳材料形成的碳质电极。