[发明专利]层叠体在审
申请号: | 202080033961.6 | 申请日: | 2020-04-23 |
公开(公告)号: | CN113795383A | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 星野舜;村山智寿;安孙子洋平;三田寺淳 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | B32B27/34 | 分类号: | B32B27/34;B32B17/10;B32B27/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种层叠体,其中,聚酰亚胺薄膜密合于玻璃基板或硅基板上,且在前述聚酰亚胺薄膜上还层叠有金属膜或氧化物半导体膜,前述的金属膜或氧化物半导体膜的厚度为1~400nm,前述聚酰亚胺薄膜的水分含有率为1,000~35,000质量ppm。 | ||
搜索关键词: | 层叠 | ||
【主权项】:
暂无信息
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