[发明专利]高密度多极化薄膜压电装置及其制造方法有效
| 申请号： | 202080031793.7 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN113747982B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·毕考肖;桑迪普·阿卡拉杰 | 申请（专利权）人： | 艾科索成像公司 |
| 主分类号： | H10N30/01 | 分类号： | H10N30/01;H10N30/074;H10N30/082;H10N30/80;H10N30/30 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李薇;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了具有改进的封装密度的多极化压电装置，以及用于制造此类具有改进的封装密度的多极化压电装置的方法。所述多极化压电装置包括：a)制造在基板上的顶部电极、压电层和底部电极；b)通过蚀刻所述压电层、所述顶部电极或两者而生成的过孔；以及c)放置在以下一个或多个之上的再分布层(RDL)：所述顶部电极、所述压电层、所述底部电极或一个或多个过孔。 | ||
| 搜索关键词： | 高密度 多极化 薄膜 压电 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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