[发明专利]微镜器件有效
申请号: | 202080030807.3 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN113728264B | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 直野崇幸;青岛圭佑 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 蔡丽娜;韩香花 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 微镜器件具备:反射镜部(12);第1致动器(14),将一对半环状致动器部(14A、14B)配置成包围反射镜部(12);连接部(21),将反射镜部(12)和第1致动器(14)连接成反射镜部(12)能够在第1轴上转动;固定部(20),配置于第1致动器(14)的外周;及第2致动器(16),夹着第1致动器(14)相对于第1轴(a1)对称地配置一对蜿蜒型致动器部(16A、16B)。一对蜿蜒型致动器部(14A、14B)的各自的矩形板状部的长度方向配置于沿着第1轴(a1)的方向,各自的一端与一对半环状致动器部(14A、14B)各自的外周连接,各自的另一端与固定部(20)连接。各致动器部分别具备压电元件(41~46)。 | ||
搜索关键词: | 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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