[发明专利]微镜器件有效

专利信息
申请号: 202080030807.3 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN113728264B 公开(公告)日: 2023-07-07
发明(设计)人: 直野崇幸;青岛圭佑 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 蔡丽娜;韩香花
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 微镜器件具备:反射镜部(12);第1致动器(14),将一对半环状致动器部(14A、14B)配置成包围反射镜部(12);连接部(21),将反射镜部(12)和第1致动器(14)连接成反射镜部(12)能够在第1轴上转动;固定部(20),配置于第1致动器(14)的外周;及第2致动器(16),夹着第1致动器(14)相对于第1轴(a1)对称地配置一对蜿蜒型致动器部(16A、16B)。一对蜿蜒型致动器部(14A、14B)的各自的矩形板状部的长度方向配置于沿着第1轴(a1)的方向,各自的一端与一对半环状致动器部(14A、14B)各自的外周连接,各自的另一端与固定部(20)连接。各致动器部分别具备压电元件(41~46)。
搜索关键词: 器件
【主权项】:
暂无信息
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