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[发明专利]光扫描装置、光扫描装置的驱动方法及测距装置-CN202310218429.7在审
发明人：直野崇幸;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明获得一种能够降低用于扫描环状的入射面的驱动电压的光扫描装置、光扫描装置的驱动方法及测距装置。驱动控制部对第1致动器赋予下述式(A)所表示的包含2个不同频率f1及f2的成分的第1驱动信号Vx(t)，对第2致动器赋予下述式(B)所表示的包含频率f1及f2的成分的第2驱动信号Vy(t)。Vx(t)＝Ax1sin(2πf1t)+Ax2sin(2πf2t+γ3)……(A)，Vy(t)＝Ay1sin(2πf1t+γ1)+Ay2sin(2πf2t+γ3+γ2)……(B)。
扫描装置驱动方法测距

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202310266589.9在审
发明人： 青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高反射镜部的角度检测精度的微镜器件及光扫描装置。微镜器件具备反射镜部、一对第1支承部、一对可动框、一对第2支承部、驱动部、固定框、与固定框相比厚度薄且沿第1轴或第2轴延伸而连接驱动部与固定框的一对连接部以及上部电极的形状及位置以第1轴及第2轴为中心呈线对称的关系的四个压电传感器。当设连接部的延伸方向为第1方向，设与第1方向正交且位于平面内的方向为第2方向，设固定框与连接部的边界的在第2方向上的长度为H时，四个压电传感器各自的至少一部分处于从第1轴及第2轴中的与第1方向平行的轴向第2方向H/2以内的范围内，且配置于固定框上。
器件扫描装置

[发明专利]光扫描装置及微镜器件的驱动方法-CN202280011413.2在审
发明人：西浦洋辅;直野崇幸;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：光扫描装置具备微镜器件及处理器，所述微镜器件具备：反射镜部，其具有反射入射光的反射面；第1致动器，其使反射镜部绕第1轴摆动，所述第1轴位于包含反射镜部静止时的反射面的平面内；以及第2致动器，其使反射镜部绕第2轴摆动，所述第2轴在平面内与第1轴正交，所述处理器通过向第1致动器及第2致动器分别提供具有相同的驱动频率的第1驱动信号及第2驱动信号，来使反射镜部进行进动运动。在设绕第1轴摆动的谐振频率为f1、绕第2轴摆动的谐振频率为f2的情况下，微镜器件满足f2＜f1的关系，在设驱动频率为fd的情况下，满足fd≤f1的关系。
扫描装置器件驱动方法

[发明专利]微镜器件-CN202080030807.3有效
发明人：直野崇幸;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：微镜器件具备：反射镜部(12)；第1致动器(14)，将一对半环状致动器部(14A、14B)配置成包围反射镜部(12)；连接部(21)，将反射镜部(12)和第1致动器(14)连接成反射镜部(12)能够在第1轴上转动；固定部(20)，配置于第1致动器(14)的外周；及第2致动器(16)，夹着第1致动器(14)相对于第1轴(a1)对称地配置一对蜿蜒型致动器部(16A、16B)。一对蜿蜒型致动器部(14A、14B)的各自的矩形板状部的长度方向配置于沿着第1轴(a1)的方向，各自的一端与一对半环状致动器部(14A、14B)各自的外周连接，各自的另一端与固定部(20)连接。各致动器部分别具备压电元件(41～46)。
器件

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202180057581.0在审
发明人： 青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明的微镜器件具有第1支承部(21)，第1支承部(21)在位于包含反射镜部(20)静止时的反射面的平面内的第1轴(a1)上与反射镜部(20)连接，且将反射镜部(20)支承为能够绕第1轴(a1)摆动。第1支承部(21)由沿第1轴(a1)延伸的主轴(21A)及隔着第1轴(a1)对称地配置于主轴(21a)的两侧且沿第1轴(a1)延伸的多个副轴(60A、60B、60C)构成，第1支承部(21)具备折叠结构，该折叠结构具有通过多个副轴(60A、60B、60C)连接而形成的三个以上的折叠部(61、62、63)，当设折叠部(61、62、63)内侧的曲率半径从离第1轴(a1)近的一侧起依次为R1、R2、R3……时，满足0.73≤Rk+1/Rk≤0.9的关系，其中k＝1、2、……。
器件扫描装置

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202180054199.4在审
发明人：直野崇幸;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：微镜器件具备：反射镜部；第1支承部，将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动；可动框，与第1支承部连接；第2支承部，将反射镜部、第1支承部及可动框支承为能够围绕第2轴摆动；一对第1致动器，与第2支承部连接，并且隔着第2轴对置；第2致动器，配置成包围第1致动器；第1连接部，连接第1致动器与第2致动器；固定框，配置成包围第2致动器；及第2连接部，连接第2致动器与固定框。第2致动器使围绕第1轴的转矩作用于反射镜部。第1致动器使围绕第2轴的转矩作用于可动框。
器件扫描装置

[发明专利]光扫描装置及微镜器件的驱动方法-CN202180049445.7在审
发明人：西浦洋辅;直野崇幸;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：微镜器件具有如下特性：当将绕第1轴的共振频率设为f1，且将绕第2轴的共振频率设为f2时，满足f1＜f2的关系，当绕第1轴及绕第2轴同时驱动了反射镜部时，绕第1轴的共振频率从f1变化Δf。通过对第1致动器及第2致动器分别施加具有满足f1‑Δf＜fd的关系的驱动频率fd的第1驱动信号及第2驱动信号，使反射镜部进行岁差运动。
扫描装置器件驱动方法

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202211052724.1在审
发明人： 青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及微镜器件及光扫描装置，其能够降低二维驱动时的耗电量。微镜器件具备反射镜部、将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动的第1支承部、隔着第1轴对置的一对可动框、将可动部支承为能够围绕第2轴摆动的第2支承部、配置成包围可动部且在第2轴上在与第2支承部之间存在空隙的驱动部、连结第2支承部与驱动部的连结部及固定框，在反射镜部围绕第1轴转动而转动角度的绝对值大于0度的状态下，当在与第1轴正交且包含第2轴的平面上，将在第2支承部的表面上包含第2支承部的各端点的直线与第2轴的交点和静止时的第2支承部的反射镜部侧的端部之间的距离设为A，将第2支承部在第2轴方向上的总长度设为L时，满足A/L≤2/3的关系。
器件扫描装置

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202211045903.2在审
发明人： 青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明涉及微镜器件及光扫描装置，其能够抑制由轴间串扰引起的共振频率的位移。微镜器件具备反射镜部、将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动的第1支承部、隔着第1轴对置的一对可动框、将可动部支承为能够围绕第2轴摆动的第2支承部、配置成包围可动部且在第2轴上在与第2支承部存在空隙的驱动部、连结第2支承部与驱动部的连结部及固定框，在反射镜部围绕第1轴的转动角度的绝对值大于0度的状态下，当在与第1轴正交且包含第2轴的平面上，将在第2支承部表面上包含第2支承部各端点的直线与第2轴的交点和静止时第2支承部的反射镜部侧的端部之间的距离设为A，将第2支承部在第2轴方向上的总长度设为L时，满足2/3＜A/L的关系。
器件扫描装置

[发明专利]微镜器件-CN202180030386.9在审
发明人： 青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明的微镜器件(1)具备：反射镜部(12)；第1致动器(14)，在反射镜部(12)的周围配置成环状且使反射镜部(12)绕第1轴(a1)往复转动；及第2致动器(16)，使反射镜部(12)绕第2轴(a2)往复转动，并且使反射镜部(12)和第1致动器(14)绕第1轴(a1)以彼此相反的相位转动的最低阶的共振模式的共振频率A、反射镜部(12)和第1致动器(14)在与第1轴(a1)及第2轴(a2)均正交的方向上以相反的相位振动的共振模式中最低阶的共振模式的共振频率B、共振频率A与共振频率B的频率差分F＝A‑B，小于频率差分F且最接近频率差分F的共振频率C、大于频率差分F且最接近频率差分F的共振频率D满足F‑C≥20Hz及F‑D≤‑150Hz。
器件

[发明专利]光学扫描装置及图像形成装置-CN202210619836.4在审
发明人：田中伸也;青岛圭佑 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及光学扫描装置及图像形成装置，所述光学扫描装置及图像形成装置能够不使杂散光入射到描绘区域而小型化且能够降低制造成本。光学扫描装置具备：反射镜装置，具有绕至少一个轴摆动的可动反射镜；及封装体，具有不构成同一平面的至少两个以上透光面，且在内部容纳有反射镜装置，封装体的两个以上的透光面之中，一个是从外部取入向可动反射镜的入射光的光取入面，另一个是将由可动反射镜反射的光取出到外部的光取出面。
光学扫描装置图像形成

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202210372560.4在审
发明人： 青岛圭佑;冈田耕 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种微镜器件及光扫描装置，它们小型且在气体中能够加大反射镜部的偏转角。微镜器件具备：可动部，具有形成有反射入射光的反射面的反射镜部；第1支承部，在位于反射镜部静止时包含反射面的平面内的第1轴上与可动部连接，且将可动部支承为能够围绕第1轴摆动；及第1致动器，其为与第1支承部连接且隔着第1轴对置的一对第1致动器，且为使可动部围绕第1轴摆动的压电驱动方式的第1致动器，在可动部围绕第1轴摆动时，第1致动器中的至少一部分以与可动部逆相位围绕第1轴摆动，当将第1致动器的转动角度相对于可动部的转动角度之比设为R时，满足0＜R＜1.00。
器件扫描装置

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