[发明专利]微镜器件有效
| 申请号： | 202080030775.7 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN113728263B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 直野崇幸 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 蔡丽娜;韩香花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 微镜器件(1)具备以包围反射镜部(12)的方式配置的致动器(14)。致动器(14)具备压电元件(40)，压电元件(40)的上部电极(33)由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部(i1～i8)构成，该压电元件(40)包括由多个个别电极部(i1～i8)分别规定的多个压电部(41～48)，该第1应力反转区域中，在以使反射镜部绕第1轴产生倾斜振动的第1共振模式驱动时的最大位移状态下，在压电膜(32)的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转，该第2应力反转区域中，在以使反射镜部绕第2轴产生倾斜振动的第2共振模式驱动时在压电膜(32)的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080030775.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于患者监测系统的传感器组件
- 下一篇：ToF照相机、车辆用灯具、汽车
