[发明专利]微镜器件

权利要求书

1.一种微镜器件，其具备：

反射镜部，其具有反射光的反射面；

环状的致动器，其以包围所述反射镜部的方式配置；

第1连接部，其以所述反射镜部能够绕第1轴转动的方式连接所述反射镜部和所述致动器；

固定部，其设置于所述致动器的外周；以及

第2连接部，其以所述致动器能够绕与所述第1轴交叉的第2轴转动的方式连接所述致动器和所述固定部，

所述致动器使绕所述第1轴的旋转扭矩作用于所述反射镜部，并且使绕所述第2轴的旋转扭矩作用于所述反射镜部，由此绕所述第1轴以及所述第2轴旋转驱动所述反射镜部，

在该微镜器件中，

所述致动器为具备如下的压电元件的压电致动器，该压电元件在振动板上层叠有下部电极、压电膜以及上部电极，

在针对应力而将向拉伸部件的方向施力的拉伸应力定义为正、将向压缩部件的方向施力的压缩应力定义为负的情况下，所述上部电极由以如下的第1应力反转区域以及第2应力反转区域被分离的多个个别电极部构成，所述压电元件包括由所述多个个别电极部分别规定的多个压电部，在所述第1应力反转区域中，在以使所述反射镜部绕所述第1轴产生倾斜振动的第1共振模式驱动时的最大位移状态下，在所述压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转，在所述第2应力反转区域中，在以使所述反射镜部绕所述第2轴产生倾斜振动的第2共振模式驱动时在所述压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转，

所述上部电极具备至少八个个别电极部作为所述多个个别电极部，所述多个个别电极部相对于所述第1轴以及所述第2轴对称地配置。

2.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，

所述第1连接部在所述第1轴上连接所述反射镜部和所述致动器。

3.根据权利要求1或2所述的微镜器件，其中，

所述第2连接部在所述第2轴上连接所述致动器和所述固定部。

4.根据权利要求1或2所述的微镜器件，其中，

该微镜器件具备驱动电路，

所述驱动电路用于对所述致动器的所述多个压电部中的各个压电部输入驱动信号。

5.根据权利要求4所述的微镜器件，其中，

所述驱动电路对所述多个压电部输入以绕所述第1轴倾斜振动的第1共振模式驱动所述反射镜部、且以绕所述第2轴倾斜振动的第2共振模式驱动所述反射镜部的驱动信号。

6.根据权利要求5所述的微镜器件，其中，

所述驱动电路输入叠加了第1驱动信号和第2驱动信号而得的驱动信号作为所述驱动信号，在所述第1驱动信号中，施加于位于在以所述第1共振模式驱动时的振动振幅变得最大的瞬间所述绝对值最大的主应力成分为正的区域的压电部的驱动电压波形、和施加于位于所述绝对值最大的主应力成分为负的区域的压电部的驱动电压波形彼此处于相反相位的关系，在所述第2驱动信号中，施加于位于在以所述第2共振模式驱动时的振动振幅变得最大的瞬间所述绝对值最大的主应力成分为正的区域的压电部的驱动电压波形、和施加于位于所述绝对值最大的主应力成分为负的区域的压电部的驱动电压波形彼此处于相反相位的关系。