[发明专利]用于对准光学元件的致动器装置和方法、光学组装件和投射曝光设备在审
| 申请号： | 202080030374.1 | 申请日： | 2020-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN113711099A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | B.普尼尼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G03F7/20;H02K41/035;H02K7/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于对准投射曝光设备(100、200、400)的光学元件(2)的致动器装置(3)，致动器装置(3)包括轴(9)，轴(9)的第一端部分(9.1)通过接合件(10)在载体结构(5)的基点(11)可偏转地悬置且其第二端部分(9.2)固定到光学元件(2)。提供至少一个致动器单元(7)，其具有固定到轴(9)的平移器(12)和出于达到向轴(9)施加偏转力(F |
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| 搜索关键词： | 用于 对准 光学 元件 致动器 装置 方法 组装 投射 曝光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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