[发明专利]光检测器在审

专利信息
申请号: 202080023598.X 申请日: 2020-03-10
公开(公告)号: CN113614932A 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 可部达也;新井秀幸;相川恒;杉浦裕树;井上晓登;森三佳;中西贤太郎;坂田祐辅 申请(专利权)人: 松下知识产权经营株式会社
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;H01L27/146;H04N5/369
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王亚爱
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在光检测器(1000),具有APD(111)的受光部(100)与外围电路部(200)分别设置在p型半导体基板(10)的第一主面(S1)上,光检测器(1000)还包括在半导体基板(10)的第二主面(S2)上设置的背面电极(300)和设置在受光部(100)与外围电路部(200)之间的p型第一分离部(13)。APD(111)在第一主面(S1)侧具有n型区域(20),并且具有在Z方向与n型区域(20)相接触的p外延层(12)。外围电路部(200)具有设置在p阱(14)的n型MISFET(30)和以包围p阱(14)的侧部和底部的方式而设的n阱(21)。
搜索关键词: 检测器
【主权项】:
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