[发明专利]从数据集提取特征在审

专利信息
申请号: 202080018832.X 申请日: 2020-02-06
公开(公告)号: CN113544591A 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: M·拉兰纳加;D·格科鲁;F·哈西毕;A·伊普玛 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G06N3/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 胡良均
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种从数据集提取特征的方法包括:基于数据集内所包括的残差图案的可视化(238)从数据集提取特征(244),其中特征不同于在先前迭代中提取的特征,并且残差图案的可视化使用在先前迭代中提取的特征。使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以包括:生成属性数据的与目标数据相关的残差图案。使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以涉及:基于在先前迭代中提取的特征,将集群约束添加到数据集。附加地或备选地,使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以涉及:定义以在先前迭代中提取的特征为条件的条件概率。
搜索关键词: 数据 提取 特征
【主权项】:
暂无信息
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