[发明专利]从数据集提取特征在审
| 申请号: | 202080018832.X | 申请日: | 2020-02-06 |
| 公开(公告)号: | CN113544591A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
| 发明(设计)人: | M·拉兰纳加;D·格科鲁;F·哈西毕;A·伊普玛 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G06N3/04 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 胡良均 |
| 地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种从数据集提取特征的方法包括:基于数据集内所包括的残差图案的可视化(238)从数据集提取特征(244),其中特征不同于在先前迭代中提取的特征,并且残差图案的可视化使用在先前迭代中提取的特征。使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以包括:生成属性数据的与目标数据相关的残差图案。使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以涉及:基于在先前迭代中提取的特征,将集群约束添加到数据集。附加地或备选地,使用在先前迭代中提取的特征可视化(234)数据集可以涉及:定义以在先前迭代中提取的特征为条件的条件概率。 | ||
| 搜索关键词: | 数据 提取 特征 | ||
【主权项】:
暂无信息
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