[发明专利]用于气相色谱-质谱的溶剂以及用于测定氟树脂熔体模塑产品的表面上的含氟物质的方法在审
| 申请号： | 202080018693.0 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113574376A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 矢部洋正;弘子板垣 | 申请（专利权）人： | 科慕·三井氟产品株式会社 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/06;G01N30/72 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王琳;黄希贵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于含氟物质的气相色谱‑质谱的含氟溶剂，该含氟物质被发现污染氟树脂熔体模塑产品的表面并且对此类产品用于半导体制造中的流体处理的用途是不利的。本发明还提供了一种用于此类含氟物质的定量测定方法和用于此类含氟物质的定性分析方法，这些方法基于使用含氟溶剂的气相色谱‑质谱方法，使得能够确定作为熔体模塑氟树脂产品表面上的细颗粒而存在的痕量污染物含氟物质的存在或不存在。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 色谱 溶剂 以及 测定 树脂 熔体模塑 产品 表面上 物质 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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