[发明专利]用于离子迁移过滤器的制造方法在审
| 申请号： | 202080018472.3 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN113597554A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·皮尔森 | 申请（专利权）人： | 奥斯通医疗有限公司;奥斯通有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 景怀宇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本技术涉及制造MEMS气体传感器的方法，例如用于制造可以用作场非对称离子迁移谱过滤器的离子迁移过滤器的方法。该方法包括步骤：提供具有孔口的支撑件(S300、S302)；以及在支撑件中形成电连接(S304)。该方法还包括步骤：将电极层附接到支撑件(S306)，使得电极层覆盖孔口；以及通过机械地切割穿过电极层来形成多个离子迁移电极(S308)。每个相邻电极对在它们之间限定出离子通道，并且每个电极与相邻电极分开。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 迁移 过滤器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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