[发明专利]控制带电粒子束的能量散布的装置和方法在审
| 申请号： | 202080014117.9 | 申请日： | 2020-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN113424290A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | S·B·汉森;任岩;M·R·古森;A·V·G·曼格努斯;E·P·斯马克曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/05;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在各方面中尤其地公开了一种带电粒子检查系统，其包括吸收部件和可编程带电粒子反射镜板，该可编程带电粒子反射镜板被布置为修改束中电子的能量分布并且对束进行整形以减少电子的能量散布和束的像差，其中吸收部件包括限定腔的结构，该腔具有内部表明以及设置在内部表上的超材料吸收体。在操作中，腔沿着束路径的一部分延伸。在其他实施例中，超材料包括吸收结构集合，该吸收结构集合被配置为设置在透明导电层上的吸收结构。进一步，公开了一种使用这种吸收部件并且使用可编程带电粒子反射镜板的方法，其中这种可编程带电粒子反射镜板包括像素集合，该像素集合被配置为生成定制电场以对束进行整形。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 带电 粒子束 能量 散布 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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