[实用新型]一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统

摘要

本实用新型属于蚀刻设备技术领域，尤其涉及一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统。喷淋过滤装置包括壳体结构和过滤结构。壳体结构具有过滤腔，壳体结构的表面开设有供混合流体流入过滤腔的进液口以及供混合流体流出过滤腔的出液口。过滤结构位于过滤腔，过滤结构包括相对进液口设置的过滤框以及连接过滤框的过滤袋，过滤框竖直设置且两端分别可拆卸地连接过滤腔的两侧腔壁，过滤框具有安置腔，过滤袋的开口端连接安置腔的腔口边缘，过滤袋的另一端朝背离进液口的方向延伸设置。壳体结构还开设有连通过滤腔且供过滤结构拆装的安装孔。本实用新型实现了对混合流体中固体的过滤，而且固体杂质的集中收集，便于后续对固体的回收和清理。