[实用新型]一种烘烤装置有效
| 申请号： | 202023337252.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215141732U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 白文;徐虎 | 申请（专利权）人： | 徐州芯思杰半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 艾青;牛悦涵 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种烘烤装置，属于芯片加工技术领域。本实用新型的烘烤装置包括烘烤腔室，所述烘烤腔室设置有开口，所述开口处设置有门体组件，所述门体组件上包括升降机构，所述升降机构包括第一驱动部件、第一丝杆以及滑杆，所述丝杆沿竖直方向延伸，且与所述门体组件螺纹连接，所述第一驱动部件与所述丝杆相连，所述滑杆沿竖直方向延伸，且与所述门体组件滑动连接。本实用新型的烘烤装置，通过升降机构带动门体实现自动升降，从而实现门体的自动开闭，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
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