[实用新型]磁控溅射环装置及磁控溅射反应器有效
| 申请号： | 202023309181.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215404482U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨武;杨志 | 申请（专利权）人： | 江苏信核芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 唐昱庆 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域，且公开了磁控溅射环装置及磁控溅射反应器，包括支撑板，所述支撑板的下端固定连接有第一连接环，所述第一连接环的外侧通过轴承套接有传动环管，所述传动环管的下端固定连接有螺纹环，所述螺纹环的内侧通过螺纹插接有螺纹杆，所述螺纹杆的内侧开有矩形腔，所述矩形腔的内部活动插接有矩形块，所述矩形块的上端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接在支撑板的下端，所述螺纹杆的下端左右两侧固定连接有连接架，所述连接架的外侧下部通过螺纹套接有第二连接环，该磁控溅射环装置及磁控溅射反应器，通过设备的整体结构，能够带动连接架和磁控溅射环上下运动，从而能够均匀的喷射在工件的外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 装置 反应器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏信核芯微电子有限公司，未经江苏信核芯微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023309181.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗堵垂直筛板塔塔板
- 下一篇：一种自动化生产用分碗装置
- 同类专利
- 专利分类
