[实用新型]一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的系统有效
| 申请号： | 202023302485.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215545826U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陶沙;张杰;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的系统，包括化学腐蚀槽、激光器、处理组件以及移动机台，处理组件以及激光器分别位于移动机台上，激光器与处理组件连接，化学腐蚀槽位于移动机台的一侧。本实用新型通过利用激光器发射出激光后，经过处理组件进行振镜扫描加工和静态聚焦加工玻璃表面，改变玻璃表面及下层的材料物理化学性质，并利用化学腐蚀槽内的碱性腐蚀液进行化学腐蚀，由此加工出灰度阶梯结构的产品，实现高效率地制备灰度阶梯结构的光学微型器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 化学 腐蚀 加工 灰度 阶梯 结构 产品 系统 | ||
【主权项】：
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