[实用新型]单晶炉挡板阀及单晶炉有效
| 申请号： | 202023280286.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214400797U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马国忠;梁万亮;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶炉挡板阀及单晶炉，属于单晶硅生产设备技术领域。该单晶炉挡板阀包括闸板，闸板的内开设有若干相互连通的氩气分布槽，氩气分布槽的入口端连接氩气进气管；闸板的下表面开设有若干氩气通孔，氩气通孔连通氩气分布槽。氩气经过氩气分布槽，并经由氩气通孔进入单晶炉内，在单晶炉挡板阀的下方形成惰性气体环境。一方面增加了通入氩气的分布均匀性，满足拉制较大尺寸的单晶硅晶棒的氩气通入需求，有效防止了单晶炉内零部件尤其是闸板中部的氧化，避免单晶炉内环境被污染，降低单晶拉制成功率。另一方面，氩气对闸板进行进一步辅助冷却，加强了单晶炉挡板阀处的冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 挡板 | ||
【主权项】：
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