[实用新型]热处理模块和具有该热处理模块的自动化滴染封片设备

摘要

一种热处理模块和具有该热处理模块的自动化滴染封片设备，该热处理模块包括半封闭空腔、多个加热电阻、鼓风机扇叶以及鼓风机驱动机构，所述多个加热电阻和所述鼓风机扇叶设置于所述半封闭空腔内，所述多个加热电阻在所述半封闭空腔内沿周向分布，所述半封闭空腔上端封闭并具有底部开口，承载有多个载玻片的载具盘可在所述底部开口处与所述半封闭空腔契合而形成一个封闭的空腔，所述多个加热电阻通电时加热所述空腔内的空气，所述鼓风机驱动机构用于驱动所述鼓风机扇叶旋转以在所述空腔内形成环状热对流，从而对所述载具盘上的多个载玻片进行均匀对流加热。该热处理模块能够实现对载具盘上的多个载玻片同时以均匀、稳定的温度进行高效加热。