[实用新型]一种可简易拆卸清理的单晶热场有效
| 申请号： | 202023187890.1 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN214400806U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴超慧;朱厚军 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种可简易拆卸清理的单晶热场，包括安装外壳、内保护外壳、上保温盖和坩埚，所述安装外壳的内侧安装有内保护外壳，所述安装外壳的上侧设置有上保温盖，所述安装封盖的内侧安装有进气管，所述分流块的下侧安装有旋转扇，所述安装架的外侧安装有导流筒，所述坩埚的外侧安装有加热环，所述坩埚的下侧安装有托盘，且托盘的下侧设置有支撑杆，所述衔接杆的下侧安装有石墨电极，且石墨电极的外侧安装有保护套。该可简易拆卸清理的单晶热场，能够对单晶热场进行简易的拆除清理，从而便于对其内部进行清理，减少对下一次单晶生长造成的影响，且能够对导入的气流进行分流，避免气流所带势能对成晶造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 拆卸 清理 单晶热场 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宇泽半导体（云南）有限公司，未经宇泽半导体（云南）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023187890.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
