[实用新型]一种可简易拆卸清理的单晶热场有效
| 申请号： | 202023187890.1 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN214400806U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴超慧;朱厚军 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 简易 拆卸 清理 单晶热场 | ||
1.一种可简易拆卸清理的单晶热场，包括安装外壳(1)、内保护外壳(3)、上保温盖(6)和坩埚(13)，其特征在于：所述安装外壳(1)的内侧安装有内保护外壳(3)，且内保护外壳(3)的内部安装有保温层(4)，并且内保护外壳(3)的外侧设置有密封条(19)，所述安装外壳(1)的上侧设置有上保温盖(6)，且上保温盖(6)的上侧安装有安装封盖(7)，所述安装封盖(7)的内侧安装有进气管(8)，且进气管(8)的下侧设置有分流块(10)，所述分流块(10)的下侧安装有旋转扇(11)，且旋转扇(11)的下侧安装有安装架(2)，所述安装架(2)的外侧安装有导流筒(9)，且导流筒(9)的下侧设置有坩埚(13)，所述坩埚(13)的外侧安装有加热环(12)，且加热环(12)的下侧固定有衔接杆(15)，所述坩埚(13)的下侧安装有托盘(14)，且托盘(14)的下侧设置有支撑杆(18)，所述衔接杆(15)的下侧安装有石墨电极(16)，且石墨电极(16)的外侧安装有保护套(17)。
2.根据权利要求1所述的一种可简易拆卸清理的单晶热场，其特征在于：所述安装外壳(1)关于内保护外壳(3)的中心呈前后对称设置，且内保护外壳(3)关于安装外壳(1)的中心呈左右对称设置，并且安装外壳(1)单体之间通过螺栓构成可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种可简易拆卸清理的单晶热场，其特征在于：所述内保护外壳(3)单体之间为卡合连接，且内保护外壳(3)与密封条(19)为贴合设置，并且保温层(4)与内保护外壳(3)为对应设置。
4.根据权利要求1所述的一种可简易拆卸清理的单晶热场，其特征在于：所述进气管(8)的下端纵截面呈梯形，且进气管(8)位于分流块(10)的正上方。
5.根据权利要求1所述的一种可简易拆卸清理的单晶热场，其特征在于：所述分流块(10)呈圆锥形，且分流块(10)通过焊接与旋转扇(11)构成一体化结构。
6.根据权利要求1所述的一种可简易拆卸清理的单晶热场，其特征在于：所述保护套(17)的外侧设置有凸起结构，且保护套(17)与安装底座(5)为卡合连接，并且保护套(17)与石墨电极(16)为嵌套连接。
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