[实用新型]一种夹具印隐形式的镀膜卡具有效
| 申请号： | 202023158630.1 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN215050658U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 胡超川;朱磊;何涛;张继凡 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 景鹏飞 |
| 地址： | 239299 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种夹具印隐形式的镀膜卡具，包括相对安装于两根横杆上的上夹具与下夹具；下夹具为卡具式夹具；下夹具包括上下相固定的山字形夹具以及U形底座；山字形夹具与竖直方向相倾斜设置。本实用新型能够实现双面夹持镀膜，安装便捷；由于山字形夹具与竖直方向相倾斜设置，理论垂直遮挡面极小，在溅射生产时，有小部分溅射分子材料从两侧斜向轰击基片，能够实现夹具印隐形；不需要移动位置，即可满足任何客户靶标要求，具有良好的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 隐形 镀膜 卡具 | ||
【主权项】：
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