[实用新型]一种夹具印隐形式的镀膜卡具有效
| 申请号: | 202023158630.1 | 申请日: | 2020-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN215050658U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
| 发明(设计)人: | 胡超川;朱磊;何涛;张继凡 | 申请(专利权)人: | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 景鹏飞 |
| 地址: | 239299 安徽省滁*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 夹具 隐形 镀膜 卡具 | ||
本实用新型提供一种夹具印隐形式的镀膜卡具,包括相对安装于两根横杆上的上夹具与下夹具;下夹具为卡具式夹具;下夹具包括上下相固定的山字形夹具以及U形底座;山字形夹具与竖直方向相倾斜设置。本实用新型能够实现双面夹持镀膜,安装便捷;由于山字形夹具与竖直方向相倾斜设置,理论垂直遮挡面极小,在溅射生产时,有小部分溅射分子材料从两侧斜向轰击基片,能够实现夹具印隐形;不需要移动位置,即可满足任何客户靶标要求,具有良好的市场前景。
技术领域
本实用新型属于镀膜夹持工装领域,具体涉及一种夹具印隐形式的镀膜卡具。
背景技术
在磁控溅射镀膜生产中,平板玻璃必须夹持镀膜,而夹具必须夹持稳定,且操作方便。其中一个难题是夹具印的问题,因玻璃镀膜必须均匀,所以玻璃在镀膜机箱体内必须竖直夹持,夹具位于玻璃与靶材之间,溅射时在玻璃正对夹具的位置就会产生膜层缺失,造成客户靶标对位时,因夹具印导致膜层缺失不能识别,使用异常。现有卡具中的上夹具不受玻璃重力,故采用弹簧钢材料,与玻璃点式接触,解决夹具印问题;但下夹具会承受重力,不能采用弹簧钢,否则玻璃松动,业内均采用槽式接触,不能解决夹具印问题,为满足客户要求,只能改变夹具位置,耗费生产时间,增加生产成本。
因此,针对以上问题研制出一种能够有效解决夹具印问题的卡具是本领域技术人员所急需解决的难题。
发明内容
为解决上述问题,本实用新型公开了一种夹具印隐形式的镀膜卡具。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种夹具印隐形式的镀膜卡具,包括相对安装于两根横杆上的上夹具与下夹具;下夹具为卡具式夹具;下夹具包括上下相固定的山字形夹具以及U形底座;山字形夹具与竖直方向相倾斜设置。
进一步地,山字形夹具与竖直方向所成锐角小于30°。
进一步地,山字形夹具与竖直方向所成锐角为27°。
进一步地,山字形夹具的槽深为2.5㎜,且两槽的中心相距16㎜。
进一步地,山字形夹具为不锈钢SUS304夹具,且具有经过喷砂处理的表面。
进一步地,山字形夹具与U形底座通过点焊连接固定。
本实用新型与现有技术相比,具有如下有益效果:
1、能够实现双面夹持镀膜,安装便捷;
2、由于山字形夹具与竖直方向相倾斜设置,理论垂直遮挡面极小,在溅射生产时,有小部分溅射分子材料从两侧斜向轰击基片,能够实现夹具印隐形;
3、不需要移动位置,即可满足任何客户靶标要求,具有良好的市场前景。
附图说明
图1、本实用新型的结构示意图;
图2、本实用新型中下夹具的结构示意图。
附图标记列表:上夹具1、下夹具2、山字形夹具3、U形底座4。
具体实施方式
以下将结合具体实施例对本实用新型提供的技术方案进行详细说明,应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。
如图1所示为本实用新型的结构示意图,本实用新型为一种夹具印隐形式的镀膜卡具,包括相对安装于两根横杆上的上夹具1与下夹具2。
如图2,下夹具2为卡具式夹具;下夹具2包括上下通过点焊连接固定的山字形夹具3以及U形底座4;山字形夹具3与竖直方向相倾斜设置,所成锐角为27°。
山字形夹具3为不锈钢SUS304夹具,且具有经过喷砂处理的表面,山字形夹具3的槽深为2.5㎜,且两槽的中心相距16㎜。
最后需要说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制性技术方案,本领域的普通技术人员应当理解,那些对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术方案的宗旨和范围,均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
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