[实用新型]用于晶圆检查的简易平台装置有效
| 申请号： | 202023153949.5 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN213957170U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 吴剑锋 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区汇光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;B25H1/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 徐磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于晶圆检查的简易平台装置，包括：底座，底座上设置有导向杆；移动组件，设置在导向杆上且沿导向杆移动；锁紧组件，用以将移动组件与导向杆固定；检测相机，与移动组件转动连接；移动组件包括套设在导向杆上的导套，导套上开设有锁定孔，锁紧组件与锁定孔连接进而与导向杆抵持，以将移动组件与导向杆固定。通过设置有移动组件及锁紧组件，移动组件与检测相机连接，以使得移动组件移动继而带动检测相机移动，从而调节检测相机与待测目标之间的距离，提高检测效果；锁紧组件用以将移动组件固定，从而便于测量，更为快捷方便。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 简易 平台 装置 | ||
【主权项】：
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