[实用新型]膜厚测量装置

摘要

一种膜厚测量装置，属于光学领域。膜厚测量装置包括检测核心结构以及控制系统；检测核心结构包括：罩体、光源和相机，罩体具有第一容纳腔，第一容纳腔内具有用于容置膜的容置部；光源设置于第一容纳腔内，光源用于产生能够照射于容置部的光，相机具有能够转动的镜头，镜头位于来自膜的反射光的光路上以接收反射光并获得对应的二维图像；控制系统用于根据数学模型计算并获得构成二维图像的像素对应的厚度值以及膜厚。过上述设置，操作方便且使用方便，检测速度快且测试面积大，重复性误差小，不容易产生较大的测量误差。