[实用新型]一种具有吹扫气路结构的旋板阀以及投料清理系统有效
| 申请号： | 202023088718.0 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214032747U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 时刚;武海军;王俊 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;B08B5/02;B08B15/00 |
| 代理公司： | 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 | 代理人： | 李思源 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有吹扫气路结构的旋板阀以及投料清理系统，包括旋板阀腔室和安装于旋板阀腔室下端出口的旋转阀板；还包括旋板阀充气管道，旋板阀充气管道设置于旋板阀腔室内，并位于旋转阀板的上方；旋板阀充气管道的充气口连接至外部的惰性气体输送管路，旋板阀充气管道上分布有多个排气口，用于将旋板阀腔室内积落的硅粉及杂质吹起进入副室。本实用新型利用该旋板阀阀板吹扫气路结构，在二次投料后，对旋板阀进行吹扫清理，从而有效提高晶体生长环境的清洁度，促进生长出更高质量的晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 吹扫气路 结构 旋板阀 以及 投料 清理 系统 | ||
【主权项】：
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