[实用新型]一种用于为硅片的研磨设备供应研磨液的系统有效
| 申请号： | 202023037193.8 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN213795991U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马科宁 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 姚勇政;李斌栋 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于为硅片的研磨设备供应研磨液的系统，所述系统可以包括：原料源，用于提供制备所述研磨液所需的各种原料；用于定量地接收来自所述原料源的各种原料的制备槽；设置在所述制备槽中的搅拌器，用于将接收在所述制备槽中的各种原料混合均匀以制备出所述研磨液；用于接收在所述制备槽中制备出的研磨液的供应槽，其中，所述研磨设备所需的研磨液由所述供应槽供应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 研磨 设备 供应 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023037193.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种航空座椅上的显示器装置
- 下一篇：一种水玻璃生产用冷却装置
