[实用新型]一种用于坩埚的清理装置有效
| 申请号： | 202023017028.6 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN214391511U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张超;李磊磊;国营;史建伟 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B5/04 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于坩埚的清理装置，包括：定位部件，所述定位部件用于放置坩埚；至少一个清灰组件，所述清灰组件包括吸尘头，所述吸尘头位于定位部件上方；所述吸尘头与坩埚发生周向相对位移，以对坩埚周壁进行清理；移动装置，所述移动装置与吸尘头连接，所述移动装置用于控制吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。通过设置定位部件，固定坩埚的位置，避免坩埚在清理过程中移动发生磕碰；设置吸尘头与坩埚发生周向相对位移，以清理坩埚周壁的灰尘；设置移动装置，以控制吸尘头水平方向和竖直方向的移动，实现坩埚不同位置的清理；该清理装置在减少坩埚移动的情况下，实现对坩埚的清洁处理，有效降低了对坩埚的磨损破坏，提高了坩埚清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 坩埚 清理 装置 | ||
【主权项】：
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