[实用新型]一种用于坩埚的清理装置

权利要求书

1.一种用于坩埚的清理装置，其特征在于，包括：

定位部件，所述定位部件用于放置坩埚；

至少一个清灰组件，所述清灰组件包括吸尘头，所述吸尘头位于定位部件上方；所述吸尘头与坩埚发生周向相对位移，以对坩埚周壁进行清理；

移动装置，所述移动装置与吸尘头连接，所述移动装置用于控制吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。

2.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述清灰组件还包括吸尘箱，所述吸尘头通过连接管与吸尘箱连接，所述吸尘头上开设有进风口。

3.根据权利要求2所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述吸尘头设有毛刷，所述毛刷与所述进风口错开设置。

4.根据权利要求2所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述连接管一端与所述吸尘头螺纹连接、卡扣连接或插接，另一端与所述吸尘箱胶粘连接、插接或卡扣连接。

5.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述移动装置包括伸缩部件、底座和导轨，所述伸缩部件一端与所述吸尘头连接，另一端与所述导轨连接，所述导轨与底座连接；所述伸缩部件用于控制所述吸尘头在水平方向上移动，所述导轨用于控制所述吸尘头在竖直方向上移动；或

所述移动装置包括挠性杆和底座，所述挠性杆一端连接所述吸尘头，另一端连接所述底座；所述挠性杆受力后能弯曲定型，用于控制所述吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。

6.根据权利要求5所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述伸缩部件包括伸缩杆、第一动力装置和第一控制装置；

所述第一动力装置驱动所述伸缩杆伸缩，所述第一动力装置一端与所述伸缩杆连接，另一端与所述导轨连接；

所述第一控制装置控制所述第一动力装置驱动所述伸缩杆伸缩；

所述第一动力装置与所述导轨滑块连接或滑轮连接。

7.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述吸尘头包括两个对称设置的向下延伸的中空腔体结构，两个所述中空腔体结构之间形成空腔，以套接坩埚的侧壁；

所述中空腔体结构的内壁开设有进风口。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，所述定位部件包括可拆卸连接的吸盘和吸力装置，所述定位部件与所述吸盘连接，所述吸盘与所述吸力装置螺纹连接、卡扣连接或插接。

9.根据权利要求8所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，还包括：

第二动力装置，所述第二动力装置驱动所述定位部件旋转，所述第二动力装置与所述定位部件底部连接；

第二控制装置，控制所述第二动力装置驱动所述定位部件旋转，所述坩埚随所述定位部件旋转，以使所述吸尘头清理所述坩埚周壁上的灰尘。

10.根据权利要求8所述的用于坩埚的清理装置，其特征在于，包括两个清灰组件，所述两个清灰组件对称设置在所述坩埚的两端。