[实用新型]一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪有效

专利信息
申请号: 202023007346.4 申请日: 2020-12-15
公开(公告)号: CN213814027U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 赵瑛璇;黄海阳;仇超;甘甫烷;盛振 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: G02B6/125 分类号: G02B6/125
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 代理人: 钱文斌;黄志达
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪,包括输入Y分支波导和输出Y分支波导,所述输入Y分支波导和输出Y分支波导的结构相同,所述输入Y分支波导的第一输出端通过第一直波导与输出Y分支波导的第一输入端相连;所述输入Y分支波导的第二输出端与第一弯曲波导的一端相连,所述输出Y分支波导的第二输入端与第二弯曲波导的一端相连,所述第一弯曲波导的另一端与所述第二弯曲波导的另一端通过所述第二直波导相连;所述第一弯曲波导与第二弯曲波导结构相同,并沿着第二直波导的中线对称。本实用新型能够使得波导长度在10μm到40μm变化时具有稳定的传输效率。
搜索关键词: 一种 基于 分支 对称 结构 马赫 曾德尔 干涉仪
【主权项】:
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