[实用新型]一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪

权利要求书

1.一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，包括输入Y分支波导和输出Y分支波导，所述输入Y分支波导和输出Y分支波导的结构相同，其特征在于，所述输入Y分支波导的第一输出端通过第一直波导与输出Y分支波导的第一输入端相连；所述输入Y分支波导的第二输出端与第一弯曲波导的一端相连，所述输出Y分支波导的第二输入端与第二弯曲波导的一端相连，所述第一弯曲波导的另一端与所述第二弯曲波导的另一端通过第二直波导相连；所述第一弯曲波导与第二弯曲波导结构相同，并沿着所述第二直波导的中线对称。

2.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述输入Y分支波导的第一输出端和第二输出端之间的距离与所述输入Y分支波导输入端的长度相等；所述输出Y分支波导的第一输入端和第二输入端之间的距离与所述输出Y分支波导的输出端长度相等。

3.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述输入Y分支波导的第一输出端和第二输出端之间的距离为5μm；所述输出Y分支波导的第一输入端和第二输入端之间的距离为5μm。

4.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述第一弯曲波导的一端与另一端之间的距离与所述第一弯曲波导的长度比为3.05：4；所述第二弯曲波导的一端与另一端之间的距离与所述第二弯曲波导的长度比为3.05：4。

5.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述第一弯曲波导的一端与另一端之间的距离为3.05μm；所述第一弯曲波导的长度为4μm；所述第二弯曲波导的一端与另一端之间的距离为3.05μm；所述第二弯曲波导的长度为4μm。

6.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述第一弯曲波导和第二弯曲波导均为S型弯曲波导。

7.根据权利要求1所述的基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪，其特征在于，所述输入Y分支波导和输出Y分支波导在分支部分均采用弧形设计。