[实用新型]一种垂直腔面发射激光器有效
| 申请号： | 202022856768.2 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN213636610U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 翁玮呈;丁维遵;刘嵩;梁栋 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/42 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种垂直腔面发射激光器，涉及激光器技术领域，所述垂直腔面发射激光器包括：衬底；第一欧姆接触层，形成在所述衬底的第一表面上；第一反射层，形成在所述第一欧姆接触层背离所述衬底一侧的表面上，包括第一沟槽和多个第二沟槽，第一沟槽暴露至所述第一欧姆接触层，每个所述第二沟槽的底部厚度大于零。其中，刻蚀的第二沟槽无需暴露至第一欧姆接触层，仅需刻蚀部分第一反射层即可，从而在相同的发光面积下，减小了发光单元的电阻，提升了发光单元的光电转换效率，并且减小了发光单元之间的间距，提升了单位面积中的发光面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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