[实用新型]一种垂直腔面发射激光器

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：

衬底；

第一欧姆接触层，形成在所述衬底的第一表面上；

第一反射层，形成在所述第一欧姆接触层背离所述衬底一侧的表面上，包括第一沟槽和多个第二沟槽，第一沟槽暴露至所述第一欧姆接触层，每个所述第二沟槽的底部厚度大于零。

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第一反射层还包括第一台型结构和第二台型结构，所述第二台型结构上设置有多个第三台型结构。

3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，沿所述衬底指向所述第一欧姆接触层的方向上，所述第一台型结构上依次设置有，第一有源层、第一个第二反射层、第一个第二欧姆接触层、第一绝缘层和第一电极层；

所述第一沟槽的底部设置有第一导电金属，侧壁设置有第一绝缘层，且所述第一绝缘层延伸至所述第一沟槽的底部，覆盖部分所述第一导电金属；

所述第一电极层与所述第一导电金属电连接。

4.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第一沟槽包括第一矩形沟槽。

5.根据权利要求4所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第一沟槽还包括第二矩形沟槽，所述第二矩形沟槽与所述第一矩形沟槽形成T型沟槽或者L型沟槽。

6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第一电极层仅与所述第二矩形沟槽中第一导电金属电连接。

7.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，沿所述衬底指向所述第一欧姆接触层的方向上，每个所述第三台型结构上依次设置有，第二有源层、第二个第二反射层、第二个第二欧姆接触层、第二导电金属层、第二绝缘层和第二电极层；

其中，所述第二绝缘层覆盖部分所述第二导电金属层，以及覆盖每个所述第二沟槽的底部和侧壁，所述第二电极层与所述第二导电金属层电连接。

8.根据权利要求7所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第二沟槽为环形沟槽；所述第三台型结构为圆柱型台面。