[实用新型]一种光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置有效
| 申请号： | 202022810952.3 | 申请日： | 2020-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN213581739U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王华;吴中海;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用带冷却循环系统的混合光源发生装置，包括激光源、LED光源组件、光源基座和底座；激光源设置在光源基座的中心，LED光源组件围绕激光源分布在光源基座上，底座与光源基座连接形成一聚光内腔，底座上设有出光口；其中，LED光源组件包括固定座、LED光源、第一冷却接口和第二冷却接口，固定座内设有第一内腔，第一冷却接口和第二冷却接口分别与第一内腔连通；底座内设有第二内腔，第二内腔围绕出光口设置，底座上设有第三冷却接口和第四冷却接口，第三冷却接口和第四冷却接口分别与第二内腔连通。本实用新型提高了光刻机的使用寿命，有效地降低了光源发生装置内部的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机用带 冷却 循环系统 混合 光源 发生 装置 | ||
【主权项】：
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