[实用新型]加液装置有效
| 申请号： | 202022799211.X | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213933770U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏华;许文泽 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾浩 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种加液装置包含：储液罐体，所述储液罐体用以存储待加入的液体，所述储液罐体设有出液接口；加液罐体接头，所述加液罐体接头用以密封连接所述加液入口，所述加液罐体接头上有管路接口和抽真空接口；加液管路，所述加液管路连接所述出液接口和所述管路接口。据此，整体的加液装置与周围厂区环境相对封闭，液体不会因为吹扫、溅滴、外溢等情形而挥发散逸到厂区环境中，从而避免了污染厂区环境气体，防止TVOC监测数据局部短时超标导致生产线报警和停线。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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