[实用新型]一种汞灯及制造晶圆的系统有效
| 申请号： | 202022786978.9 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN213601838U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 姚剑武;黄斌;何彦君 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J61/52 | 分类号： | H01J61/52;H01L21/67;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种汞灯及制造晶圆的系统，所述汞灯包括灯泡和灯箱，所述灯箱设置有进气口和排气口，所述进气口用于向所述灯箱内输入氮气或惰性气体，所述排气口用于排出所述灯箱内的氮气或惰性气体。本实用新型提供的一种汞灯及制造晶圆的系统，由于使用氮气或惰性气体吹扫汞灯，可以降低汞灯的温度，从而提高了汞灯的寿命，并且可以延缓光纤出现氧化、雾化和开裂的现象，提高了光纤的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 系统 | ||
【主权项】：
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