[实用新型]化学机械研磨用的晶圆固定座有效
| 申请号： | 202022751329.5 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN213999052U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 汪戬 | 申请（专利权）人： | 中盛兴业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 朱智杰 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械研磨用的晶圆固定座，所述晶圆固定座为扁平片状的弹性结构体，并具有承载面及背面，其中所述承载面供以承载晶圆，且所述承载面一侧朝所述背面方向凹设成形有通气流道，所述通气流道的一端与所述晶圆固定座侧缘相互连接，另一端未与所述晶圆固定座侧缘相互连接。藉此，本实用新型的晶圆固定座无须针对不同尺寸晶圆备有不同载具，而可适应于各尺寸晶圆且快速固定并完成移除作业，大幅降低制程成本，减少移除时应力所造成的破片现象与不便性。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 固定 | ||
【主权项】：
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