[实用新型]一种适用于真空电子器件的排气结构

摘要

本实用新型公开了一种适用于真空电子器件的排气结构，包括集气罩，所述集气罩的右侧位置设置有单向出气阀，所述单向出气阀的右侧位置设置有第一排气管，所述第一排气管的右侧位置设置有气囊，所述气囊的右侧位置设置有第二排气管。本实用新型的一种适用于真空电子器件的排气结构，集气罩内的防滑脱密封圈可以确保真空电子器件在抽气作业过程中，始终保持真空环境，单向出气阀和密封圈套内的单向瓣膜可以确保第一排气管和第二排气管内的空气保持定向流动，而不会发生回气现象，气囊可以储存大量空气，有助于进行连续抽气作业，提高抽气效率，之后还可以自行排气，本实用新型结构精巧，原理简单，易于操作，较为实用。