[实用新型]真空镀膜系统有效
| 申请号： | 202022718562.3 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213977866U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王志海;邝斌;陈金良;齐鹏飞;赖新暖 | 申请（专利权）人： | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖军 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜系统，包括：腔体；传输机构，设置于腔体，以输送工件；检测装置，设置于腔体，并位于工件运行方向上；纠偏装置，设置于腔体，检测装置检测到工件偏离运行方向的偏斜量达到预定量时，纠偏装置能够纠正工件的偏斜，以使工件回归至运行方向。工件运行时，通过检测装置检测工件的偏斜量，当工件偏斜量超过预定量时，纠偏装置纠正工件偏斜，使工件回归至运行方向，有效提高传输精度，有利于避免因工件偏斜发生的传输故障。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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