[实用新型]一种三氯氢硅合成炉

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉，包括设备支架、水冷控温水箱、旋转反应滚筒、滚筒内部翻料板、过渡进料仓、硅粉缓冲存储罐、二级反应炉体、电热气体加热器、氮气进气阀门、氯化氢气体阀门，硅粉在旋转反应滚筒内通过滚筒内部翻料板翻动，使得硅粉与氮气充分反应，硅粉落入硅粉反应滤网上继续反应；与现有技术相比，本实用新型的合成炉采用卧式结构，在卧式的旋转反应滚筒中将硅粉与反应气体能够充分接触进行反应，使得反应更充分，反应后再结合传统的过滤式反应进行继续二级反应，更进一步的提高的反应效率，是的反应气体使用充分，减少原料浪费，提高成品率，降低工艺成本，具有推广应用的价值。