[实用新型]一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于微悬臂梁结构的F‑P型光纤湿度传感器。其特征在于：该传感器由单模光纤、毛细管、金膜和琼脂糖凝胶薄膜组成。使用飞秒激光将毛细管端面涂覆的金膜穿透，形成一个开口腔的刚性矩形的微悬臂梁结构，其悬臂梁的长度为95um～110μm，宽度为25μm～35μm，厚度为0.1μm～0.15μm。在微悬臂梁结构上涂覆一层厚度为0.5μm～1.5μm的琼脂糖凝胶薄膜。应用时，将传感器置于待测湿度环境内，环境湿度发生变化，琼脂糖凝胶薄膜的质量和厚度发生变化，进而使得微悬臂梁结构的本征频率发生变化，通过实时检测微悬臂梁本征频率的变化即可解调出环境湿度的大小。本发明具有灵敏度高、测量精度高和结构紧凑的特点，可用于环境湿度的准确测量。