[实用新型]一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器有效
| 申请号： | 202022647591.5 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213957152U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 郭允;陈敏;徐贲 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬臂梁 结构 光纤 湿度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器，由单模光纤，毛细管，金膜和湿敏薄膜组成，其特征是：单模光纤与毛细管无坍塌式熔接，单模光纤端面与毛细管端面涂覆的金膜形成一个空气腔的F-P结构。
2.根据权利要求1所述的一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器，其特征是：毛细管的长度为20μm～50μm，内径为100μm～110μm。
3.根据权利要求1所述的一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器，其特征是：所用金膜的厚度为0.1μm～0.15μm，其悬臂梁的长度为95μm～110μm，宽度为25μm～35μm，厚度为0.1μm～0.15μm。
4.根据权利要求1所述的一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器，其特征是：所述的湿敏薄膜为琼脂糖凝胶薄膜，其厚度为0.5μm～1.5μm。
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