[实用新型]一种聚醚酰亚胺镀膜装置有效
| 申请号： | 202022529669.3 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN213951328U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 汤立新;汤佳唯 | 申请（专利权）人： | 镇江阿尔法特种镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 郭建军 |
| 地址： | 212006 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种聚醚酰亚胺镀膜装置，所述抽板与所述加热箱活动连接，并位于所述加热箱的顶端，所述冷却箱与所述加热箱固定连接，并位于所述加热箱的顶部，所述顶盖与所述加热箱活动连接，并位于所述加热箱的上方，所述升降体与所述顶盖活动连接，并位于所述顶盖的下方，所述夹持板与所述升降体固定连接，并位于所述升降体的下方，所述循环管与所述冷却箱固定连接，并位于所述冷却箱的侧面，所述水箱与所述循环管固定连接，并位于所述加热箱的上方，完成聚醚酰亚胺的加热沉积后，通过所述升降体将基片上升至上升冷却箱内，通过所述循环管内的冷却液循环导热，使所述冷却箱内的温度的快速降低，加快了薄膜的冷凝过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚醚酰 亚胺 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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